SF6大容量羅茲泵真空泵裝置

為了保護真空泵，真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動。空氣流經(jīng)羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其zui大的抽氣功率1000m3/h， 能夠防止真空泵裝置通常發(fā)生的在低壓下抽真空能力的下降，實現(xiàn)氣室的良好干燥和快速除氣的目的。為了保護真空泵，真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動。空氣流經(jīng)羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其zui大的抽氣功率1000m3/h， 能夠防止真空泵裝置通常發(fā)生的在低壓下抽真空能力的下降，實現(xiàn)氣室的良好干燥和快速除氣的目的。為了保護真空泵，真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動。空氣流經(jīng)羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其zui大的抽氣功率1000m3/h， 能夠防止真空泵裝置通常發(fā)生的在低壓下抽真空能力的下降，實現(xiàn)氣室的良好干燥和快速除氣的目的。

為了保護真空泵，真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動。空氣流經(jīng)羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其Z大的抽氣功率1000m3/h， 能夠防止真空泵裝置通常發(fā)生的在低壓下抽真空能力的下降，實現(xiàn)氣室的良好干燥和快速除氣的目的。